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恒奧德儀器HAD-5227電阻真空計原理以及校準
點擊次數:367      更新時間:2023-05-05

HAD-5227電阻真空計原理以及校準

 

 

 

原理

Pirani皮拉尼真空計構造。金屬圓筒內部設有一白金細線,兩端連接電極。通過電極給白金細線提供電流時,白金細線會發熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態下時以下公式成立

Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)

Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。

氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導被表示為

Qg = αΛπda(TT0)p (2)

TT0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的QsQr可以分別表示如下

Qs = Sκ(TT0)/L (3)

Qr = πdaσε(T4T04) (4)

(3)是電極的熱傳導,其中S是細線的斷面積是固體的傳導率,L是電極的長度。

(4)式代表熱輻射ε分別被稱為常數和固體輻射率。如果保持TT0一定,(3)(4)式為常數。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為

I2R = Ap + I02R (5)

A = αΛπda(TT0) (6)

I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數如果已知細線的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(5)式求得壓力P。

電阻真空計的

 

 

校準

一般先校準零點,再進行滿度校準。

(1)校準零點。校準零點需對被測真空系統抽真空,一旦電離規測得真空度高于1.0^-1Pa(9.9 X10^-2Pa),按校零"按鈕,對應指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正零點,當顯示1.0^-1Pa時,表示規管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。

(2)滿度校正。校準完零點后,需對其滿度校正。按滿度校正過程要求,對被測爐腔放人大氣,確保被校電阻規所測位置為大氣狀態,在大氣壓下工作約10分鐘。按滿度"按鈕,對應指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正滿度,當顯示1.0^5 Pa時,表示規管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整


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